中国芯片制造迈出一大步！中科院造出最强紫外超分辨光刻机
发布时间：2018-12-05 11:19:41 所属栏目：评测 来源：问耕 乾明 郭一璞 晓查
导读：我国在芯片制造领域取得新突破！ 经过近七年艰苦攻关，超分辨光刻装备研制项目通过验收。这意味着，现在中国有了世界上首台分辨力最高的紫外(即 22 纳米@365 纳米)超分辨光刻装备。 换句话说，我国科学家研制成功了一种非常强大的光刻机。 光刻机，那可是
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